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太陽能光伏擴散爐

太陽能光伏擴散爐
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· 青島育豪微電子設備有限公司 [山東省] 加為商業伙伴
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聯系人: 朱先生
所在城市: 山東省 青島市
詳細地址: 青島市城陽區流亭工業園協榮路3號
電子郵件: [email protected]
公司電話: 400 0532 778
傳真: 0532-87671266
手機: 13805320424
  
詳細信息  

◆工作溫度: 300~1300℃
◆有效口徑根據用戶擴散片確定,可訂制
◆恒溫區長度: 1080mm(可根據用戶要求定制)
◆溫區精度 (靜態閉管測試):
      600℃<工作溫度<1200℃: ±0.5℃
      300℃≤工作溫度≤600℃: ±1℃
◆單點溫度穩定性(靜態閉管測試):
      600℃<工作溫度<1200℃: ±0.5℃/24h
      300℃≤工作溫度≤600℃: ±1℃/24h
◆溫度斜變能力:
      最大可控升溫速度(300~1300℃):15℃/min
      最大降溫速度(1300~900℃): 5℃/min 
◆氣體流量設定精度: ±2%FS
◆氣路系統氣密性: 1×10-7pa.m3/s
◆自動送料裝置行程: ~2000mm
      速度: 5~1000mm/min
      SiC漿承重 19kg
◆裝片數量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級(10000級廠房)
◆三相五線制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷卻水: 2~4Kgf/cm2,~8L/min

太陽能電池擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式
 
◆閉管磷擴散,帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置,偏磷酸、CL2分開收集處理;工藝廢氣集中收集從尾部定向排出;各種工藝氣體可分開送入石英管內,工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管軟著陸擴散方式工藝過程完全不受外界環境干擾,工藝質量完全受保護。
◆自動化程度:自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進口,可在達到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式:懸臂式推拉舟。采用側面布局的懸臂推拉結構,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉機構受腐蝕,影響推拉機構的精確性。
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