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石墨舟自動上下料系統(S.P.E.E.D.1000)

石墨舟自動上下料系統
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詳細信息  

HBI的S.P.E.E.D. TM1000石墨舟自動上下料系統是S.P.E.E.D. TM系列自動化設備中的一員。該設備用于電池生產中管式PECVD的自動裝卸舟,并為印刷線提供自動裝籃功能;適用于HBI管式PECVD及其他標準管式鍍膜設備,并適合各種標準舟和標準花籃;其靈活設計亦適用于其他定制化工藝流程。

  S.P.E.E.D. TM1000采用獨特的高精度、高速度、高穩定性的TrE TM自動化技術和超凈材料,提高硅片傳輸速度和精度,大幅降低硅片碎片率和表面沾污;其產能可達2000片/小時(10舟/小時),運行時間長;降低對熟練操作工的依賴;節省生產成本,提高生產效率。

 HBI成功實現了裝籃和裝舟過程的六軸機器人精密控制,采用了軟接觸和軟著陸技術,并設計了先進的伺服和編碼系統,以提高控制部件和機械部件的配合精度,從而確保裝舟時的精確定位,實現低碎片率和低沾污率。 客戶在選擇HBI工藝設備的同時選用S.P.E.E.D. TM1000自動化設備還可以降低開機調整時間,并獲得HBI服務團隊統一快速的專業支持

產品特點

精密軟著陸技術,獨特的取/放片結構

柔性機器人裝卸載,降低碎片率

優選超凈材料,降低硅片污染

高端精密檢測及伺服運動系統,確保高可靠性

友好界面,易安裝、易操作、易維護

結構緊湊、設計小巧,適合各類產線安裝定位

尤其適合車間后期自動化改造

客戶價值

大幅降低硅片碎片率

大幅減少硅片的人工污染

高速、精準的硅片自動化傳輸

減少人工操作、降低開機調整時間

降低熟練工依賴,節省人工投入

高產出、高運行時間

低折舊費用、低維護費用

節省生產成本,提高生產效率

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